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DGIST, 반도체 FAB 등 중앙기기센터 중소기업에 개방


소재·부품·장비 개발 중소기업 지원…기술자문단도 구성

[아이뉴스24 최상국 기자] 대구경북과학기술원(DGIST, 총장 국양)이 소재·부품·장비 관련 중소기업들의 기술개발을 지원하기 위해 국내 최고 수준의 반도체 FAB을 보유한 중앙기기센터를 확대 개방한다고 17일 밝혔다.

DGIST 중앙기기센터는 국내 최고 수준의 반도체 FAB(소자클린룸)을 보유하고 있으며, 실리콘계 반도체 공정, MEMS, 통신소자, 센서, 마이크로가공, 계측시뮬레이션 및 나노·바이오분석을 위한 공용장비 등 총 170여 대의 장비를 갖추고 있다.

DGIST 중앙기기센터 첨단 분석장비 모습(왼쪽부터 반도체소자 검사용 마이크로스코프, BIO-TEM, 광전자분광표면분석기, 전자빔리소그래피 시스템) [DGIST 제공]
DGIST 중앙기기센터 첨단 분석장비 모습(왼쪽부터 반도체소자 검사용 마이크로스코프, BIO-TEM, 광전자분광표면분석기, 전자빔리소그래피 시스템) [DGIST 제공]

DGIST는 현재 반도체 미세박막용 전구체 제조기업에 TEM(투과전자현미경)을 활용한 극미세 나노분석기술을 제공해 대기업 및 해외기업에 납품하기 위한 유효성 테스트를 진행하고 있으며, 반도체 블랭크 마스크 소재제작 기업에 최신의 구조·성분·분광 분석을 제공하고 있다고 밝혔다. 또한 일본의 수출규제로 이슈가 된 포토레지스트 개발 기업에도 테스트베드를 제공해 국산화를 돕고 있다.

DGIST는 "일본의 수출규제에 따라 피해가 예상되는 기업들을 위해 중앙기기센터를 확대 개방하기로 했다"면서 "국내 중·소 기업체에서 개발된 소재가 대기업 검증을 통과하도록 공정 플랫폼 및 정밀 분석을 제공하는 등 국내 최고 수준의 연구 플랫폼에서 검증, 분석, 실증이 가능한 일괄 서비스를 제공할 계획"이라고 밝혔다.

한편, DGIST는 중앙기기센터 활용과 함께 기술자문단도 구성했다. 기술자문단은 ▲소재분과 ▲로봇·자동차·장비분과 ▲ICT분과 ▲생명·바이오분과 등 4개 기술분과와 분석·실증분과 1개로 운영되며 DGIST 소속 182명의 교수·연구원·기술원이 자문위원으로 참여한다.

DGIST 국양 총장은 “일본수출규제로 어려움을 겪고 있는 지역 및 국내기업에 힘을 보태고자 자문단 뿐만 아니라 연구용 실증 센터를 추진하게 됐다”며 “DGIST의 우수한 연구 인프라시설 활용과 특화연구분야 자문을 통해 이번 난국을 타개할 수 있도록 최선을 다해 우리 기업들을 돕겠다”고 밝혔다.

DGIST 소재부품장비 기술자문 접수는 전용 홈페이지(https://smbrnd.dgist.ac.kr) 와 전화(053-785-3119), 이메일(smbrnd@dgist.ac.kr)로 하면 된다.

최상국 기자 skchoi@inews24.com




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